24/7運転、難加工材料微細加工向けの画期的な高出力UVおよび IR フェムト秒レーザー
• 最高品質の微細加工を実現するフェムト秒超短パルス
• 優れたアブレーション効率での加工を引き出すTimeShiftプログラマブルバーストモード機能
• 幅広い繰返し周波数
• パルスオンデマンド(POD)および位置同期出力(PSO)トリガリング
• 一貫性のあるIceFyre FSファミリー形状デザイン
• ガラス加工
• OLED、AR/VR、micro LEDディスプレイ加工
• 5G PCBの切断、穴あけ
• 半導体ウェーハスクライビング、ダイシング
• 医療用デバイス加工
• 太陽電池スクライビング、穴あけ
• セラミックス加工
• ファインメタル加工
• ポリマー切断
IceFyre FSファミリーは、フェムト秒レーザー技術の飛躍的な進歩であり、業界をリードするパフォーマンス、汎用性、信頼性、所有コストを実現します。IceFyre FSフェムト秒レーザーは、要求の厳しい家庭用電化製品、クリーンエネルギー、医療用デバイス、および産業用アプリケーションに使われるポリマー、金属、半導体、薄膜、複合材料などの難加工材料において高スループットかつ極めて高い品質を要求される微細加工に最適です。Spectra-Physics の It’s in the Box 設計に基づいた IceFyre FSは、レーザーとコントロールエレクトロニクス部分を一体化し簡便にインストールできるパッケージとなっています。
最適なプロセスパフォーマンスのための卓越した汎用性
IceFyre FSは、市場で最高のパフォーマンスを発揮するUVフェムト秒レーザーであり、50Wを超えるUV出力、50µJを超えるパルスエネルギー、200WのIR出力、高パルスエネルギー (>200µJ)を提供し、シングルショットからIRの50MHzまでの幅広い繰返し周波数を提供します。
高い平均出力(>200W)と高いパルスエネルギー(>200µJ)を最大50MHzの高繰返し率と組み合わせることで、フェムト秒微細加工アプリケーションは最小の維持コストで最高レベルのスループットを実現します。
IceFyre FSプラットフォームは、調整可能な繰返し周波数、パルスオンデマンド (POD) および位置同期出力 (PSO) トリガリング、および柔軟なバーストモード操作のための TimeShift プログラム可能なパルス機能により、最適なプロセスパフォーマンスのための卓越した汎用性を提供します 。
24/7 運転を可能にする信頼性
MKS の深い経験と技術に基づいて構築された特許出願中のIceFyre FSレーザーは、厳しい環境認定テストをクリアし、高い信頼性と低い維持コストを実現します。完全に自動化され、コンピューター制御されたレーザーは、24/7運転においても出力、ビームパラメーター、およびビームポインティングにおいて並外れた安定性を示し、要求の厳しいアプリケーションに高精度と再現性を提供します。