基板や半導体のような長いワークの搬送に最適。
基板や半導体のような長いワークの搬送に最適。
豊富なパッドサイズ、パッド材質、ホルダ形状のバリエーション。
パッドサイズ:13種。
パッド材質:9種。
ホルダ形状:14種。
スプリング式ホルダのストロークが選択可能に。
従来のロングストロークカバー付ホルダをVPC、VPDと統合。
ストローク:6、10、15、20mm
従来のロングストロークカバー無しホルダはVPOC、VPODとしてリニューアル。
ストローク:20、30、40、50mm
スプリング式ホルダに低発塵タイプが新登場。
従来のスプリング式ホルダに比べ低発塵。
騒音レベル:45dBで低騒音を実現。
パッド全サイズに接続可能。
ストローク:5、10、15mmを用意。
「銅を主成分とする材料不使用」・「低濃度オゾン対策」向けの分野に対応するパッドホルダも用意。
-S3仕様:金属部材質は銅を主成分とする材料不使用,シールゴム材質にはHNBRまたはFKMを採用。
貼付防止タイプは真空パッド表面の特殊コーティングによりワークへの貼付を防止。
特殊コーティングにより滑り性が格段に向上。吸着痕を減らし、軽量ワークや薄物ワークの貼付き防止に効果的。
吸着痕軽減タイプは薬液処理により吸着痕を軽減。
環境に優しい薬液による表面改質により、吸着痕を軽減。