小物ワークの流量管理、吸着確認が可能です。
ニードルバルブ内蔵タイプ
高精度:±3%F.S.以下。
正確な流量測定が可能です。
高速応答です。50msec以下です。
シリコン微細加工を施した白金センサチップを使用することで、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献します。
ニードルバルブ一体型タイプもラインアップ。
流量調整可能なニードルバルブをセンサーと一体化させ、配管をなくしました。省スペースでの設置も可能です。
双方向の流体測定が可能です。
双方向タイプは、どのような流れ方向でも測定が可能です。これにより、配管施工の自由度が増し、逆流検知にも使用できます。
より使いやすくなった表示機能
表示反転機能により、設置方向が逆さまでも見やすくなりました。
ツインディスプレイ/2色表示機能で操作性向上。
メイン画面とサブ画面の2画面表示により、操作性を向上させました。さらに、2色表示により、一目で異常がわかるようになりました。
さまざまな取付方法に対応
ブラケットマウント、パネルマウント、DINレールマウントのオプションを用意しました。
直管部が不要
上流側、下流側ともに直管部が不要です。
豊富な接続バリエーション
インチサイズを標準装備。
設定コピー機能搭載。
マスター側の設定を相手側にコピーすることが可能です。
5種類のガスに対応。
ガス種切替機能搭載。
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