ビデオ測定システム VMZ-K3040 series

遠隔厚さ直径

明視野とコンフォーカルの2系統の光学系を搭載。二次元測定に加えて、高速・高精度な視野内一括高さ測定を実現します。 二次元測定と高さ測定が可能な1台2役の高機能システム 明視野画像による二次元測定に加えて、コンフォーカル光学系による視野内一括高さ測定を実現。明視野測定では検出が難しいサンプルも、コンフォーカル光学系なら高速/高精度な測定が可能です。 微細配線パターンの測定 明視野では難しい輝度差の激しいサンプルでも、形状と高さを正確に捉えて検出できます。 プローブカードの測定 プローブカードの微細なコンタクト部分のXYZ座標を、視野内一括測定します。 高精度プリント基板パターンの測定 測定視野内の高反射面と低反射面のエッジが正確に検出できます。