精密なステージ動作と高性能光学系によりNEXIVシリーズ最高精度での測定を実現します。
厳密な品質が要求される測定用途に対応
NEXIVシリーズ最高の測定精度を実現。半導体部品や精密金型など、より厳しい品質管理を要求される場面で威力を発揮します。
5種類の高NA光学ズームヘッド
専用設計された5種類の高NA光学ズームヘッドから目的に応じてお選びいただけます。
TTL (Through The Lens) レーザーAF
多用途に対応する画像AFに加え、高精度・高速高さ測定も可能なTTL レーザーAFを標準搭載しています。
多彩な照明方法
サンプルに合わせた照明条件の設定が可能。難しい形状でも正確にエッジを検出します。
サーチ機能
サーチ機能により、サンプルの置き方や部品位置ズレの自動補正が可能。スムーズな連続自動測定を実現します。