電子デバイスの検査に最適な大型正立顕微鏡
ニコンCFI60-2の優れた光学系により、目視観察とデジタルイメージングのどちらにおいても優れた画像を提供。卓越した照明系と組み合わせることで、高コントラスト‧高解像度の画像が得られます。
ECLIPSE L300ND, L300N , L200ND, L200N
17型FPD、200㎜/300㎜ウェハなどの顕微鏡検査が可能です。
CFI60-2対物レンズ
ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな明視野、暗視野、簡易偏光、微分干渉観察を高い操作性で行えます。
顕微鏡デジタルカメラ Digital Sightシリーズ
高精細な顕微鏡画像を撮影。対物レンズ、倍率切替え設定情報を取得し適切なキャリブレーションに自動変更が可能です。
L200NとウェハローダNWL200の組み合わせ
ニコン独自の高い技術力で、薄型ウェハの安定搬送を実現します。
CFI60-2対物レンズ
ニコンの革新的な設計により、高NAと長作動距離を両立。クリアな観察像を高い操作性で取得できます。
デジタルイメージング
顕微鏡デジタルカメラと画像処理ソフトウェアにより、高画質な画像取得と多彩な計測、解析が可能となります。
エルゴノミック設計
傾角鏡筒や楽な姿勢で操作できるステージに加え、本体前面部に集中した顕微鏡操作部で、長時間の観察でも疲労を最小限に抑えることができます。