ウェハー用マスク アライナ 200IR

OAI Model 200IRマスクアライナーは、クリーンルームを必要としない卓上型システムです。研究開発または限定されたスケールのパイロット生産において、費用対効果の高い選択肢となります。革新的なエアベアリング/バキュームチャックレベリングシステムを採用し、基板を迅速かつ穏やかに水平にし、フォトマスクの平行アライメントとコンタクト露光時のウェーハ全体の均一なコンタクトを実現します。200IRマスクアライナーは、1ミクロンの解像度とアライメント精度を有しています。アライメントモジュールには、マスクインサートセットとクイックチェンジチャックを搭載しており、工具を使用せずに様々な基板やマスクの交換が可能です。アライメントモジュールには、X軸、Y軸、Z軸のマイクロメータを搭載しています。 信頼性の高いOAI光源を搭載し、200～2000WのランプでNear UVまたはDeep UVの平行光源を提供します。デュアルセンサーによる光学的フィードバックループが定照度コントローラにリンクされており、露光強度を希望強度の±2%以内で制御することが可能です。また、UV波長の変更も迅速かつ容易に行うことができます。200IRマスクアライナーは、MEMS、マイクロ流体、NILのマスクアライメントとUV露光の入門機として、柔軟で経済的なソリューションです。