卓上マスク アライナ 200

OAI Model 200マスクアライナーはコストパフォーマンスに優れた高性能マスクアライナーで、OAIをフォトリソグラフィー装置業界のリーダーにした実績のある部品を使用して設計されています。Model 200はベンチトップ型のマスクアライナーで、クリーンルームを必要としません。研究開発や限定されたスケールのパイロット生産に経済的な選択肢を提供します。革新的なエアベアリング/バキュームチャックレベリングシステムにより、基板を迅速かつ穏やかに水平にし、フォトマスクの平行アライメントとコンタクト露光時のウェーハ全体の均一なコンタクトを実現します。このシステムは、1ミクロンの分解能とアライメント精度を実現しています。 アライメントモジュールは、マスクインサートセットとクイックチェンジウエハチャックを搭載し、特別な工具を必要とせず、さまざまな基板やマスクの使用を容易にします。アライメントモジュールには、X軸、Y軸、Z軸のマイクロメータが搭載されています。 信頼性の高いOAI社製UV光源を搭載し、200～2000ワットのランプでNear UVまたはDeep UVの平行光源を提供します。デュアルセンサー、光学フィードバックループは、所望の強度の±2％以内に露光強度を制御するために、一定の強度のコントローラにリンクされています。また、UV波長の変更も迅速かつ容易に行うことができます。このマスクアライナーは、マスクアライメントとUV露光の入門的な用途に適した、柔軟で経済的なソリューションです。