semicunductorの技術で処理する200そして300のmmのウエファーの専門の使用のための一流装置。SURFTENS WH 300は3つの軸線のウエファーのroboter、ウエファーの走査器、200および/または300のmmのウエファー、システムにノッチを付けるファンのフィルター ユニットのためのloadportが装備されている。あらゆるクリーンルームのクラスのために適したそれは25までのウエファーのためのウエファーの接触角の自動に地図を描を特色にする。
SURFTENS WH 300は300mmのウエファーの技術のrequesetdとして200mm/300mmのウエファーのためのロボット、loadportおよび完全な機能性を扱うウエファーが装備されているフル オートの接触角の計器である。
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