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ガス分析および制御装置を、流動精密制御扱うための高性能マイクロ弁の理想、等のマイクロ流動度は高リゾリューションおよび再現性と調節することができる。
特徴
■Wideの調節可能な範囲
収容することができる調節可能な流動度の範囲は最低5 SCCMから選択可能6000までSCCMである。
安定性が高い■
針は高い再現性およびヒステリシスのために直線運動を使用しない。
突然圧力変動または振動があっても開く弁に変動がない。
■Maintenance管理
針および開口部ボディに容易な維持のための完全な両立性がある。
グリース、等はではない使用されたwhatsoever. \ /html」
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