圧縮ヘリウム乾燥機(He Dryer)は、圧縮ヘリウムから水蒸気を連続的に分離し、その圧力下露点を下げるために設計されています。
ヘリウムは不活性ガスであり、空気と多くの類似点があるため、当社の標準製品で精製・乾燥することが可能です。
ヘリウムのユニークな特性は、多くの産業で性能と生産性の最適化、人件費の削減、安全な操業に役立っています。
He-A-B-F-DRYは、低圧ヒートレス再生吸着式ヘリウムドライヤの異なるシリーズです。
He-HP-DRYは、高圧ヒートレス再生吸着式ヘリウムドライヤシリーズです。
He-R-DRY は一連の低圧の熱によって再生される吸着 He のドライヤーです
He-HPR-DRYは、一連の高圧熱再生吸着式Heドライヤーです。
Heドライヤーの特徴
- 動作圧力: 5~420 barg
- 動作温度範囲(入口):1.5~50 °C
- 圧力下露点:-25~-70 °C
- 流量:ご要望に応じて
- 圧力容器の設計コードEN 13445
- 流体グループ: 2
用途
- 半導体の製造
- リークディテクション(空調)
- リフトアップ
- ブリージング(ヘリオックス)
- 冷却
- 不活性化
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