ギャップセンサー VE series

VEシリーズギャップ検出器 VEシリーズギャップ検出器は、CL-2400とともに使用され、検出器と測定対象の間の静電容量からのギャップ（変位）を測定・表示します。 ターゲット直径6mm、0.5mm範囲、0.1um、0.05umまたは0.02um解像度 ターゲット直径8mm、1.0mm範囲、0.1um解像度 ターゲット直径10mm、1.5mm範囲、0.5umまたは0.2um解像度ターゲット直径 20mm、3.0mm範囲、1.0umまたは0.5um解像度ターゲット直径40mm、8mm範囲、1.0umまたは0.5um解像度 ターゲット直径40mm、8mm範囲、1.0um または 2.0 um の解像度