マクロ欠陥検査機 F30™

表面用ウェハー用産業用

暗視野マイクロ検査と従来のマクロ検査の境界線をなくすように設計されたF30システムは、前工程と出荷品質（OQA）アプリケーションのための自動欠陥検査を提供します。 製品概要 F30は、多工程の検査に必要な柔軟な解像度とスループットを実現する5面体ターレットを搭載したシステムです。また、ウェハレスレシピ作成、同時FOUP、レシピサーバー、ツールマッチングなどの生産性向上機能を搭載し、検査コスト削減のための新たな提案も行っています。 アプリケーション - 現像後検査(ADI) - ファブ出荷QA - CMP後検査 - エッチ後検査 仕様 - 最大120wphのスループット(10µm) - 解像度の柔軟性（10µm～0.5µm） - 3つの同時カラー欠陥レビュー手法：オンザフライ、高解像度、ウェハ全体 - エッジモジュールとバックサイドモジュールの組み合わせにより、全面に対応可能