3D検査機 NSX® 330
ウェハー用包装産業用マクロ欠陥

3D検査機 - NSX® 330  - Onto Innovation Inc. - ウェハー用 / 包装産業用 / マクロ欠陥
3D検査機 - NSX® 330  - Onto Innovation Inc. - ウェハー用 / 包装産業用 / マクロ欠陥
3D検査機 - NSX® 330  - Onto Innovation Inc. - ウェハー用 / 包装産業用 / マクロ欠陥 - 画像 - 2
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特徴

技術
3D
応用
ウェハー用
分野
包装産業用
その他の特徴
マクロ欠陥, 高速, 自動

詳細

NSX 330シリーズは、1つのプラットフォームで複数のアプリケーションを実現することにより、所有コストを直接的に改善し、高度なパッケージングプロセスを可能にします。 製品概要 NSX 330は、検査と計測を組み合わせたシステムで、マイクロバンプ、RDL、カーフ、オーバーレイ、スルーシリコンビア(TSV)などのウェーハレベル計測を含む複数のアプリケーションを1つのウェーハロードで計測することが可能です。 NSX 330システムは、高加速度ステージング、高速マルチプロセッサ、柔軟性の高いソフトウェアなど、堅牢なプラットフォーム技術を提供し、これまでにない使い勝手の良さを実現しています。NSX 330システムは、世界中で1,000台以上の導入実績を持ち、2次元検査・計測のスループット向上と3次元センサーの幅広いラインアップにより、重要な先端パッケージアプリケーションをサポートします。 アプリケーション - WLCSP - RF/MEMS - 高精度なトポグラフィー、深さ、厚みの同時測定 - 基板厚み、TTV、接着ウェハ厚みスタック厚み(キャリア、接着剤、製品ウェハ、トータルスタック)。 - ビア深さ (アスペクト比は無制限) - 厚いRSTと薄いRST - 弓と反り 仕様 - 100mmから330mmまでのウェーハに対応する硬質アルマイト仕上げの検査プラットフォーム。 - 対物ターレットは、高スループットと高解像度の両方を必要とする検査アプリケーションに柔軟性を提供します。タレットには5つのスロットがあり、1X、2X、3X、5X、10X、20X、50Xの対物レンズを自由に組み合わせて取り付けることができます。 - プログラマブルライトタワー - プログラマブルな照明フィルターホイール - 暗視野照明の複数のモード - 標準ドッキングモジュール

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。