ウェハー用計量システム NanoSpec® II

Nanopsec IIフィルム分析システムは、卓上型とスタンドアロン型の両方の構成があり、エンジニアリングや研究活動と、レシピや分析アルゴリズムの最終的な生産使用との間のループを閉じます。 製品概要 業界で実績のあるNanoSpecシリーズの範囲と性能を拡大したNanoSpec IIは、自動サンプルアライメント、高速オートフォーカス、1Å*以下の測定再現性を備えた新しいデザインを導入しています。このシステムには、Onto Innovation社の分光反射率解析ソフトウェア、自動パターンアライメントのための画像処理、様々な光学構成オプションを組み込むことができ、ナノスペックII自動化はこのクラスで最も強力な薄膜システムとなります。ナノスペックIIは、前世代のナノスペック製品の材料カードと完全な互換性があります。さらに、Woollam®エリプソメーターで作成された多くの分散モデルを変換せずにインポートして使用することができます。 卓上型とスタンドアロン型の両方の構成が可能なナノスペックIIは、エンジニアリングや研究活動と、レシピや分析アルゴリズムの最終的な生産使用との間のループを閉じることができます。レシピの移植が容易なため、標準的な生産フローを妨げることなく、生産ラインの外でレシピを開発することができます。オフラインでのデータ解析のための様々なオプションにより、元のサンプルが入手できなくなった場合でも、エンジニアはプロセス内のエクスカーションをいつでも再処理することができます。光学系は、信頼性の高い堅牢な計測を実現するように設計されており、メンテナンスの手間を最小限に抑えることができます。