蛍光発光検査機器 Vertex™

自動エピタキシャルリアクター用ウェハー用

Vertexシステムは、PL測定プロセスを制御下に置き、エピタキシャルプロセスをしっかりと制御できるようにします。 製品概要 業界標準の RPM ファミリに加わった最新の Vertex システムは、優れたコンセプトを採用し、最終的な結論へと導きます。 Vertex システムは、斬新なオンボードビームプロファイラを使用して、レーザー出力と焦点スポット寸法の両方を常に監視することによって電力密度を制御します。 これにより、ユーザーは電力密度を固定値に調整できるため、工具間のばらつきをなくし、生産環境での良好な工具マッチングが可能になります。 また、パワー密度制御により、Vertex システムは高精度で繰り返し可能なデータ測定を実現できます。