半導体用計量システム QS1200™

ウェハー用

QS1200 FTIR測定ツールは、ドーパント監視、エピ厚さ測定、およびその他のアプリケーション向けの卓上システムです。 製品概要 QS1200システムは、シリコン成長およびデバイス製造分野で材料特性評価を行う高度な半導体ハブ向けに特別に設計されています。 この製品は、実績のある光学技術を活用したFTIR技術の新たなレベルと、直径100、125、150、200、300mmのSEMI標準ウェハに対応するための手動ウェハトレイを提供します。 QS1200システムでは、奇数形のウェハピース、厚さ2mmのシリコンスライスも使用できます。