ウェハー用検査機 AWX FSI

粒子産業用欠陥

AWX FSIシステムは、ウェハーメーカーにとって重要なプロセス装置の迅速なパーティクルモニタリングを実現するために不可欠なシステムです。 製品概要 パターン化されていないウェハは、ベアウェハ上のパーティクル、スクラッチ、エリア欠陥、マイクロラフネス（ヘイズ）を検出するレーザー暗視野検査で、AWX FSIシステムが提供する品質管理を必要としています。AWX FSIシステムは、ベアシリコンウェーハやドープあるいはコーティングされたウェーハを含む様々なウェーハ基板、材料、サイズの測定が可能です。 異なるオープンカセットを自動ハンドリングし、プリアライナーを搭載することで、研究開発から生産、品質保証まで、様々な環境において柔軟に使用することが可能です。AWXは、150mm、200mm、300mmのウェーハに対応し、検査結果に応じたウェーハの自動ソートが可能です。 仕様 - 150/200/300mmウェーハの自動検査 - ナノレベルの高感度 - ヘイズ - ソーティング機能 - 柔軟なツール構成 - 自動欠陥分類