ウェハー用計量システム OCD

OCDソリューション技術は、光学的重要寸法（OCD）測定用のAtlasとIMPULSEシステムの全機能と接続性を最適化するものです。 製品概要 Onto InnovationのOCDテクノロジーは、強力なOCDモデリングと高度な機械学習機能、さらに次世代のリアルタイム回帰、オフライン感度分析ツール、真の多変量モデリングのための包括的なGUIと構造入力を提供します。Ai DiffractとSpectraProbeの両ソフトウェアパッケージは、直感的で導入しやすいハードウェアフォームファクターで高度な機能を提供します。 各コンポーネントは、オフラインのレシピサポートや開発から、工場全体のネットワークや容易なフリート管理のための接続まで、シームレスなOCD機能をAtlasスタンドアロンおよびIMPULSE統合計測システムへ拡張します。 Ai Diffract™ソフトウェア 高精度なインライン光学計測とオフラインレシピ開発のためのAIガイド付きOCDモデリングおよび解析ソフトウェア Ai Diffractソフトウェアは、今日の最も複雑な半導体デバイスの構築と可視化を簡素化する、直感的な3Dモデリングインターフェースを備えた強力なモデリング、可視化、および解析ソフトウェアです。Ai Diffractソフトウェア独自のフィッティングアルゴリズムは、高忠実度のモデルベース測定のための信号処理のための高速で正確な計算を可能にします。スペクトルフィッティング、レシピの最適化、感度解析のための自動化機能は、ユーザーの生産性を大きく向上させます。市場初のAIガイドエンジンにより、物理ベースのモデリングと機械学習が相乗効果を発揮し、最も堅牢なソリューションを短時間で提供することができます。