半導体用計量システム Aspect®

新しい計測システムAspectは、先進的な3D NANDデバイスの現在と将来の課題に対応した、画期的な光学プラットフォームです。 製品概要 メモリ密度は、レイヤーペアのスケーリングとティアスタッキングの両方で、200ペアをはるかに超えるメモリスタックのために増加します。Aspectは、このような将来のアーキテクチャとスケーリング戦略を考慮して設計されています。Aspectは、革新的な赤外光学システムにより、お客様の求めるスピードとプロセスカバレッジで、重要なエッチングと蒸着制御を可能にする完全なプロファイリング機能を提供し、複数のお客様のデバイスでX線システムを凌ぐ性能を実証しています。 Aspectシステムは、強力なソフトウェア解析エンジンであるAI-Diffract™テクノロジーを搭載しており、業界をリードするNanoDiffract®ソフトウェアを拡張し、高忠実度モデリングとともに広範な機械学習機能を活用することにより、解決までの時間を最大90%短縮することを可能にしています。その結果、計測性能の向上とソリューションまでの時間の大幅な短縮を同時に実現します。 アプリケーション - Gen7 3D NANDおよびそれ以降のデバイスのエッチング、洗浄、成膜 - CIS用エッチ＆インプラント - DRAMのエッチとインプラント - 先端ロジック用オンデバイス材料特性評価