半導体用計量システム Iris™ series

Irisシリーズには、Iris C1、T1、R1モデルがあり、大量生産における幅広いアプリケーションで、優れた性能とコストパフォーマンスでプロセス制御を可能にします。 製品概要 Irisシリーズは、半導体製造のHVMアプリケーション向けに、アプリケーションに特化した光学系構成で、お客様に最高のコストパフォーマンスを提供することを目的としています。 Iris C1システムは、Atlas®シリーズの独自の分光エリプソメトリ・ソリューションと、オントイノベーションの業界をリードするAI-Diffract™ OCD解析ソフトウェアを組み合わせ、重要な半導体プロセスの各ステップを高精度に制御することが可能です。このシステムには、デュアルアームロボット、高精度ステージ、高速フォーカスシステムが搭載されています。また、高度なパターン認識、膜厚再現性の向上、スループットの向上を実現しています。N2000™ソフトウェア・インターフェースと高度な自動化は、SEMIやその他の団体で採用されている規格に準拠しています。IrisシステムとAI-Diffractソリューションは、エッチング、クリーン、成膜、CMP、薄膜にまたがる複雑な構造プロファイルの洞察を提供します。 Iris T1 は分光エリプソメーターシステムで、単層および多層誘電体フィルムの正確で再現性のあるインライン厚みおよび光学定数測定を行い、工場全体のアプリケーションに対応します。現場で実証済みのAtlasプラットフォームをベースに開発されたIris T1システムは、光学系とアルゴリズムの最新の進歩を活用し、性能と所有コストにおいてクラス最高を実現しています。SEMI/CE準拠のN2000™ソフトウェア・インターフェースにより、Irisシリーズの装置間でレシピの共有が可能です。