半導体産業用リトグラフシステム JetStep® G35

柔軟な設計のJetStep® G35システムは、高性能プロジェクションレンズ群を利用し、フラットパネルディスプレイメーカー向けの高解像度イメージングを可能にします。 製品概要 ジェットステップG35システムは、最大Gen3.5ディスプレイ用の大量生産用イメージングシステムです。 ジェットステップG35システムは、高解像度ディスプレイの最先端の製造に必要とされるレジストレーションとスティッチングの精度を兼ね備え、1.5μmまでの高解像度イメージングを可能にします。 アプリケーション - 液晶ディスプレイ - TFT - AMOLED - マイクロLED 仕様 - 1.5μmの解像度を実現する高忠実度プロジェクションレンズとイルミネーションシステム - 業界標準の6インチレチクルフォーマットにより、コスト効率の高い製造が可能 - 自動倍率制御によるプロセス・ウィンドウの拡大 - レチクル管理システム搭載により、最大限の利用が可能 - 現場での校正を可能にするオンボード計測パッケージ - パネル・トポロジーに応じてフォーカスを自動調整するオン・ザ・フライ・オートフォーカスを各露光部位に搭載 - システム性能とトラブルシューティングに関するフィードバックを提供するオンボード診断機能