Summitは、ニアラインプロセスモニタリングと品質保証アプリケーションのための高精度かつ高速な測定速度を実現します。高速リニアモータXY駆動により、現場での高い生産性を実現します。ステンシル、フラットパネルディスプレイ、エッチングシート、マスクパターンなどの大きなフットプリントパーツや、小さなパーツのネストされたグループの測定に最適です。Summitも提供しています。
測定安定性 - 固定された花崗岩のブリッジ構造により、製造現場での使用に適した防振と測定安定性を提供します。
光学系交換レンズ - 固定式単倍率光学系またはオプションの二倍速光学系、照明、画像処理、および連続画像キャプチャにより、世界最高水準の計測システムとなっています。
マルチセンサー - オプションのタッチプローブ、スキャニングプローブ、TTLレーザー、レインボープローブが使用できます。
光学系
標準レンズ
単倍率固定レンズ、2.5倍レンズ、1.0倍アダプターチューブ
オプション
二重倍率。固定レンズ光学系とフィールド交換可能なフロントレンズ
フォーカス・グリッド・プロジェクター。LED光源、ロンキまたはドットパターン
レーザーアダプター。TTLレーザーのフィールドレトロフィットを可能にします。レーザーポインターを含む
フロントレンズ。 1.0xロングワーキングディスタンス(LWD)、0.8x、1.0x、5.0x、10.0x、および25.0x
工場装着アダプターチューブ 2.0倍 (単倍率光学系のみ)
イルミネーション
標準装備
サブステージLEDプロファイル(緑)、同軸LED表面(緑)、電動入射角調整機能付きマルチカラーPRL(R/G/B)
オプション
PRL。オールグリーン、ブルー、ホワイト
連続画像キャプチャ(CIC)
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