Optoのパーティクルテストターゲットは、形状やサイズの異なる物体を介して顕微鏡の測定機能を校正したり、光学系の分解能を1mmあたりのラインペアで測定したりすることができます。残留汚れ分析の分野で使用されています。
粒子標準ターゲットは、粒子の分析や測定を行うために、顕微鏡の測定機能を校正することができます。さまざまな形状や大きさのオブジェクトのフィールドで、長方形、楕円、円、リング、さらには繊維状のオブジェクトを確認することができます。光学的歪みを測定するために、3つの異なるサイズのクロスターゲットのアレイがあります。最小のオブジェクトは5μmです。
分解能(倍率)の校正には、ターゲットの隅にXとYの2本のスケールバーが適用されます。
OptoのParticle Test Targetには、さまざまな形状やサイズの粒子が定義されており、システムの校正を容易にします。
1.スケールと角度の調整
2.VDAによるサイズクラス
3.ディストーションフィールド
4.ディストーションフィールド
5.粒子の面積(残留汚れフィルターサンプルを模擬
DVD証明書付きオプション
- 校正対象
- 校正方法
- 測定条件
- 環境条件
- 測定の不確かさ
- 測定結果
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