スライドリニアガイド EZS-AZ series

コンパクト高硬度大きい

小型、高剛性、簡易防塵構造の電動スライダです。 モーター部にαSTEP AZシリーズを搭載。 ステッピングモーターならではの、高応答、低振動、ハンチングなしの動きを 電動スライダで実現。クリーンルーム対応をご用意しました。 EZSシリーズ クリーンルーム対応は、EZSシリーズの機能・性能はそのままに、クリーンルーム対応を実現した製品です。 低発塵のローラー構造に加え、低発塵クリーングリースの採用により、ISO規格 クラス3※（FED規格クラス1相当）のクリーン度を実現しました。 ※ ISO規格 クラス3について ボールねじやガイド、ベアリングなどに低発塵クリーングリースを採用しています。 使用グリースについてはこちらをご覧ください。 例えばEZSM3の場合、約20ℓ/min以上の内部吸引量でISO規格 クラス3のクリーン度を可能にします。