AFM顕微鏡 NX20

研究用表面粗さ測定用モジュール式

パークNX20は、200mmまでの試料を扱うすべての研究所のためのAFMプラットフォームです。NX20は、アカデミックなアプリケーションから半導体や故障解析まで、デカップリングXYスキャンシステムによる正確で再現性の高い測定、ローノイズZディテクタによる表面粗さ測定、表面粗さ精度のための先端シャープネスを保証するTrue Non-Contact™ Mode、幅広い高解像度スキャンモード、モジュール設計といった独自の機能を提供します。NX20は、そのデータ精度と再現性の高い測定により、半導体やハードディスク産業で広く使用されており、生産性や分析効率の向上に貢献しています。 300mm版のPark NX20 300mmは、300mm×300mmのフル電動移動範囲に対応し、面倒なサンプル移動なしで300mmウェーハ全体を効率的に検査することが可能です。 主な技術的特徴 100 µm x 100 µm スキャンレンジの 2D フレクシャーガイドスキャナ * 15 µm スキャンレンジの高速 Z スキャナ * 低ノイズ XYZ 位置センサ * オプションのエンコーダ付き電動 XY サンプルステージ * ステップ＆スキャンオートメーション * アクセス可能なサンプルホルダー * 高度な SPM モードとオプション用の拡張スロット * ダイレクトオンアクシス高出力光学系と統合 LED 照明 * スライド接続 SLD ヘッドによる自動エンゲージ * 垂直配列電動 Z ステージとフォーカスステージ * 高速 24 ビットデジタルエレクトロニクス