原子間力顕微鏡 NX-TSH
薄型ディスプレイ検査用測定計測学用

原子間力顕微鏡 - NX-TSH - Park Systems - 薄型ディスプレイ検査用 / 測定 / 計測学用
原子間力顕微鏡 - NX-TSH - Park Systems - 薄型ディスプレイ検査用 / 測定 / 計測学用
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特徴

タイプ
原子間力
応用
薄型ディスプレイ検査用, 測定, 計測学用
オプションと付属品
電動式
その他の特徴
自動, 電動式
分解能

0.02 nm, 0.15 nm

重量

2,720 kg
(5,996.6 lb)

長さ

1,450 mm
(57.1 in)

2,334 mm
(91.9 in)

詳細

大型フラットパネルディスプレイに対する微小不良解析の需要が高まるにつれ、Park NX-Tipスキャンヘッドは、300mmを超えるサンプルのナノ計測の課題を解決します。チップスキャニングヘッドとガントリー型エアベアリングステージにより、Park NX-TSHは粗さの測定、ステップ高測定、CD測定を正確に画像化することができます。 パーク・システムズ社の原子間力顕微鏡は、ナノスケールでサンプルを測定する最も正確でサンプル、チップ先端、両方にダメージレスな方法です。Park NX-TSHを用いることで、OLED、LCD、フォトマスクなどで信頼性の高い高解像度のAFM像を得ることができます。

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*価格には税、配送費、関税また設置・作動のオプションに関する全ての追加費用は含まれておりません。表示価格は、国、原材料のレート、為替相場により変動することがあります。