粒子カウンター HSLIS-M65e

レーザー液体用イーサネット

HSLIS eシリーズ 液中パーティクルカウンターは、最先端の半導体プロセスに使用される超純水および高品位薬液を常時モニタリングするための装置です。導入コスト・運用コストが重要視される、複数台を設置する場合や長期の傾向分析を行う場合などに適しています。 HSLIS-M65eは、超純水・高品位薬液中の不溶性微粒子を検出します。最小粒径検出感度は100 nmです。オプションのFacility Net モニタリングソフトウェアで統合管理することができます。