測定粒径:0.1 - 5.0 µm
高圧ガスのサンプリング専用
先端技術を駆使した製造プロセスでは高純度ガスが多用されています。HPGP-101-Cは、アルゴン (Ar)、窒素 (N2)、ヘリウム (He)、二酸化炭素 (CO2) などの不活性ガスのみならず、活性ガスである酸素 ( O2)、水素 (H2) 中のパーティクルを減圧することなく検出可能な気中パーティクルカウンターです。防爆設計のため、活性ガスもライン圧のままインラインで測定可能です。
ガスの種類に応じて体積流量、粒子径を補正する機能があり、正確な測定結果が得られます。専用のデータシステム PDS-E を使用して HPGP-101-C の測定値をイーサネットを介して FacilityNet モニタリングソフトウェアまたはその他の管理システムに送ることができます。