光学分光器 AirSentry® II AMC

イオン移動度プロセス監視用

クリーンルーム大気中の分子状汚染物質 (AMC: Airborne Molecular Contaminant) は、電子デバイスや製造装置の性能に影響を与え、歩留ロスや製品劣化の原因になります。 AirSentry II AMCモニターは、pptレベルの塩化物、総合酸、アミン、アンモニアをリアルタイムに検知する、AMCの常時モニタリングに適したイオン モビリティ スペクトロメータ (IMS) です。 Facility Net モニタリングソフトウェア (オプション) を使用すれば、AirSentry II AMCモニターの設定・制御をネットワーク経由で行うことができます。また、Facility Net には測定データの収集、保存、リアルタイム表示や、アラーム、レポート生成などの機能があり、AMC汚染源の特定と発生防止に向けて、的確な判断と迅速な対処を可能にします。