ターボ分子真空ポンプ ATH 1600 M series

オイル不使用一段

5軸磁気浮上式ターボポンプ（ドラッグステージ付き）、N2用ポンプ速度最大1400 l/s 製品の説明 - 統合された OBC ドライブ電子機器または Magpower 外付けドライブ電子機器での動作 - 任意の方向への設置 - 水冷式 - 迎合的なCEマークとROHS - 腐食性のあるアプリケーションには加熱バージョン(MT)があります。 - ATH-Mは、半導体やコーティング産業の世界的なリファレンスにあるコンパクトなターボ分子ポンプです。軽いプロセスから DN200 および DN250 のフランジのサイズのための粗いプロセスへの世界的な大きい設置基盤。