外気式分子コンタミネーション用監視システム AMPC

クリーンルーム用リアルタイムマルチ ポイント

AMPCは、クリーンルームや装置のフロントエンドモジュールのモニタリング（EFEM）に最適なソリューションです。 IC製造工場における空気中の分子汚染（AMC）は、歩留まり損失の主な要因として知られています。汚染がどこから来るのかを制御し、理解するために、ファイファーバキュームは現在、クリーンルームとEFEM（機器フロントエンドモジュール）を監視するためのユニークなソリューションを半導体市場に提供しています。 お客様のメリット - リアルタイムの化合物測定（酸、塩基、有機化合物 - サンプリングラインの優先度、品質チェック（QC）、アラームを管理する革新的なソフトウェア - 96本のサンプリングラインを1つのツールに集約（最大8台の分析装置に対応 - 高スループット（3分以内に分析・洗浄が可能 - 1つのサンプリングラインから別のサンプリングラインへの二次汚染がないこと AMPCは、革新的で統合されたバルブ設計により、工場内の最大96箇所の酸、塩基、有機化合物を検出し、定量化するための最先端の分析装置を搭載しています。 AMPCシリーズには2つのツールがあります。AMPC SとAMPC Lの2つのツールがあり、外形寸法、線数、オプションが異なります。 さらに、AMPCエクステンションフレームは、39Uのスペースを提供し、追加のアナライザーを収納することができます。既存のAMPCユニットのアップグレードに使用したり、新しいAMPC SおよびAMPC Lユニットに追加したりすることができます。