ターボ分子真空ポンプ ATH 2300 M series

オイル不使用一段

5軸磁気浮上式ターボポンプ（ドラグステージ付）、N2用ポンプ速度最大2150 l/s 製品の説明 - 統合された OBC ドライブ電子機器または Magpower 外付けドライブ電子機器での動作 - 任意の方向への設置 - 水冷式 - 迎合的なCEマークとROHS - 腐食性のあるアプリケーションに使用可能な加熱バージョン（MT）。 - ATH-M中型ターボ分子ポンプは、半導体やコーティング産業の世界的な参照で。軽いプロセスから DN200 および DN250 のフランジのサイズのための粗いプロセスへの世界的な大きい設置基盤。