最新のプロセスアプリケーションに対応した新しい高性能ドライポンプ
最も低い運転コストで最高のH2揚水速度を実現
ADHシリーズの最大の利点の一つは、プロセスステップ間でのチャンバーの高速排気を可能にする高速水素ポンプです。大きな流量公差との組み合わせにより、ADHポンプは最も要求の厳しいプロセス仕様に適しています。最適化された設計により、このレベルのポンプ性能では市場で最高の消費電力を提供します。
中間メンテナンスなし
すべてのベアリングはオイル潤滑式で、現場でのメンテナンスは必要ありません。改良された粉体耐性、結露管理、アイドルモードにより、運転コストの削減に貢献します。
加工副産物に強い
ポンプには二重温度制御の水冷回路が装備されており、粉体の蓄積や結露を防ぐためにホットN2パージが内蔵されています。パワフルなモーターは大量の粉体を処理し、再起動能力を保証します。完全に新しいモニタリングシステムにアップグレードされたADHシリーズは、プロセスの信頼性を高めるのに役立ちます。
堅牢で安全
ADHシリーズの設計と材料は、大きな静的・動的内圧応力に対応しています。これにより、水素やシランなどの爆発性ガスを使用するアプリケーションの最高レベルの安全性を保証します。
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