ルーツ真空ポンプ A3P series

オイル不使用多段コンパクト

A3Pシリーズドライポンプは運転コストを削減 中負荷プロセスのための高エネルギー効率の先端技術 A3Pシリーズのポンプで、ファイファーバキュームは3つのモデルからなるポンプシリーズを提供しています。従来のポンプ技術と比較して、最大50％の省エネが可能です。このポンプは、プロセスに適した最新の知識を統合しています。さらに、コンパクトな構造により、従来のポンプと比較して最大50%の省スペース化が可能です。 メリット - 低い運用コスト - 小さなフットプリント - 軽量で組み立てが簡単 - 中負荷アプリケーションでの高い信頼性 - 半導体製造要件に対応 アプリケーション - 半導体産業（エッチング、インプラント、PVD、.. - 太陽光発電 半導体産業用ドライポンプ A3Pシリーズのドライポンプは、実績のある多段式ルーツ技術をベースにしています。ポンプ内部は腐食性ガスに耐性があります。このため、中負荷のプロセスで高い信頼性を発揮します。シリーズの3つのモデルは、幅広い送液速度に対応しており、半導体産業における中負荷真空ポンプのほとんどの要件をカバーしています。A3Pシリーズはクリーンルームでの運転に適しており、CEおよびSemi S2規格に準拠しています。