クリーンルーム用監視システム APR 4300

環境用

APR 4300は、300mmウェーハとその輸送ボックス（FOUP）を分子レベルで除染し、キュータイム中にそれらを保護します。 確実な除染と汚染からの保護 APRは、ウェーハの除染とキュータイム中の保護のためのシステムです。大気中の分子汚染は、半導体製造における歩留まりや品質を低下させる原因となります。 APRは、汚染された有機分子や無機分子がウェハや搬送箱の表面に吸着するのを効果的に防止します。APR内のチャンバを退避させることで、吸着確率を大幅に低下させることができます。このようにして、ファブの歩留まりを大幅に向上させることができ、個々のプロセスステップ間の待ち時間を最適化することができます。 APRはどのように機能しますか？ FOUPは、2つのロードポート上の手動またはオーバーヘッドホイスト輸送（OHT）で搬入することができます。APRは、ウェーハとFOUPの除染用に4つの真空チャンバを積み重ねたシステムで、信頼性の高いロボットから供給されます。全てのチャンバーには真空ポンプステーション、ガスボックス、操作パネル、電源付き制御装置が装備されています。チャンバーは個別に操作することができます。ウェーハを含むFOUPをチャンバーに装填した後、チャンバー内の圧力を0.1mbar以下に低下させます。その後、除染処理が行われます。この後、チャンバーはクリーン窒素でパージされ、大気圧に戻されます。これで、ウェーハと輸送ボックスは1日以上汚染から保護されます。