分子のイメージングシステム

真空 UV / EUVおよび真空カメラシステム EUVおよびVUVカメラは、高解像度、高ダイナミックレンジだけでなく、良好な時間分解能を提供します。 EUVおよびVUVカメラは、最新のパルスプラズマ放電 EUVソースに必要な高解像度（通常は10ミクロン未満）、高ダイナミックレンジ（12 〜 16ビット）、および良好な時間分解能（マイクロ秒範囲まで）を提供します。 カメラは、単一ショットを取得したり、出血アーティファクトに苦しむことなく、ネイティブの EUV ソースからフル解像度で最大 13fps で複数のショット画像を同期することができます。 マスクブランク/レジスト/ソース/光学特性と検査に必要な柔軟性に応じて、フランジ付きまたは真空バージョンをご利用いただけます。 複数の特性線を検出するためにカメラを使用する場合は、感度応答を13.5nmから0,0135nmまで拡張できます。 深い冷却により、非常に弱い信号が長い積分期間を必要とする場合、長時間露光のために0.005電子/ピクセル/秒未満に低い暗電流を可能にします。