回転ポジショニングステージ Q-632.930

圧電コンパクト真空対応

- わずか幅32mm、高さ8mm - 分解能 0.75 µrad のインクリメンタルエンコーダで直接位置測定（オプション） - 最大 3 µrad の最小インクリメンタル動作 - 回転範囲 >360 - 速度 45 °/s ピエゾ慣性駆動装置は、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃なピエゾベースの駆動装置です。慣性駆動の原理は、単一の圧電アクチュエーターに基づいており、特殊なドライバー電子機器から供給される修正されたノコギリ波電圧で制御されます。アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナを移動させます。ランナーはその慣性により、アクチュエータの高速収縮に追従できず、その位置にとどまります。動作周波数は最大20kHzで、アクチュエータはランナーに直接作用し、最大速度45°/sを達成します。45 °/s 応用分野 マイクロアセンブリフォトニクス光学アライメント顕微鏡ビームライン装置半導体技術テスト