リニアポジショニングステージ Q-545 Q-Motion® series

圧電単軸精密

- 幅わずか45mm - 駆動力7N - ナノメートル分解能のインクリメンタルセンサー - XYの組み合わせ ピエゾ慣性駆動は、比較的高い保持力と実質的に無制限の移動範囲を持つ、省スペースで手頃なピエゾベースの駆動装置です。慣性駆動の原理は、単一の圧電アクチュエータに基づいており、特殊なドライバ電子機器から供給される修正された鋸歯状電圧で制御されます。アクチュエータはゆっくりと膨張し、ランナーを移動させます。ランナーはその慣性により、アクチュエータの高速収縮に追従できず、その位置にとどまります。最大 20 kHz の動作周波数で、アクチュエータはランナーに直接作用し、最大速度 6 mm/s を達成します。6 mm/sを達成します。 応用分野 マイクロアセンブリフォトニクス光学アライメント顕微鏡ビームライン装置半導体技術テスト 直接計測の原理 リニアステージには、非接触測定用光学式リニアエンコーダとリファレンススイッチが搭載されている。分解能1 nm。