パラレル キネマティクス付ナノ位置決めステージ P-616 NanoCube®

XYZ軸圧電3軸

- パラレル・キネマティック・デザインにより、全空間方向で最高の剛性を実現 - 100gまでの負荷でも高い共振周波数によりダイナミックな動作が可能 - 革新的な製品設計により、単一プラットフォームでフレキシブルに使用可能 - IDチップを搭載した唯一のナノポジショナ - ナノキューブ®としては最小・最軽量、100 µmの移動範囲 - ファイバーの位置決めとアライメント - 走査型顕微鏡 - 2光子重合 - ナノテクノロジーとナノマニュファクチャリング - フォトニクス / 集積光学系 - マイクロマニピュレーション - 試料位置決め PICMA®ピエゾアクチュエータによる卓越した寿命 特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエータは、オールセラミック絶縁構造です。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べて最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHzの帯域幅を保証します。 自動構成と高速部品交換 メカニックとコントローラを必要に応じて組み合わせ、迅速に交換することができます。メカニックのSub-DコネクタのIDチップに全てのサーボパラメータとリニアライズパラメータが格納されています。デジタルコントローラのオートキャリブレーション機能は、コントローラのスイッチを入れるたびにこのデータを使用します。 高度な真空アプリケーションに最適 ピエゾシステムに使用されているすべてのコンポーネントは、真空中での使用に非常に適しています。