Z軸ポジショニングステージ P-725 series

圧電ロングレース用オートフォーカス

- 移動範囲100 µm、400 µm、または800 µm - モーター駆動に比べ、応答速度が格段に速く、寿命が長い - nm以下の分解能での対物レンズの微細位置決め - 静電容量式センサーによる直接位置測定最高の直線性 - Metamorph®イメージングソフトウェアとの互換性 - Ø 29 mmの大きなクリアアパーチャー - 3Dイメージング - スクリーニング - 干渉計 - 測定技術 - オートフォーカスシステム - バイオテクノロジー - 半導体検査 PICMA®ピエゾアクチュエーターによる卓越した寿命 PICMA®ピエゾアクチュエータはオールセラミック絶縁です。これにより、湿度やリーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命です。1,000億サイクルで1回の故障もないことが証明されています。 静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量式センサーは、接触することなくサブナノメートルの分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯域幅を保証します。 ゼロプレイフレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷容量が可能で、衝撃や振動の影響を受けません。広い温度範囲で使用できます。