ミラー傾斜ポジショニングステージ S-340 series

縦型圧電2軸

- 最大20nradの分解能、優れた位置安定性 - 最大4mradの光ビーム偏向 - プラットフォームとミラーの間のCTEを調整するための様々な異なる材料 - パラレル・キネマティクスによる高精度・高ダイナミクスの実現 - サブミクロンレベルの応答時間 - リニアリティを向上させるクローズドループバージョン - 優れた温度安定性 - 画像処理/手ぶれ補正 - 光学トラッピング - レーザースキャン / ビームステアリング（大きな偏向角 - レーザーチューニング - 光学フィルター・スイッチ - 光学系 - ビーム安定化 特許取得済みのPICMA®圧電アクチュエーターは、オールセラミック絶縁されています。このため、湿度やリーク電流の増加による故障から保護されます。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁型アクチュエータに比べ、最大10倍の長寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障がないことが証明されています。 ゼロプレイフレクシャーガイドによる高いガイディング精度 フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、磨耗がなく、潤滑も不要です。剛性が高いため高負荷に耐えられ、衝撃や振動に弱い。広い温度範囲で使用できる。 パラレル・キネマティクスによる高ダイナミクス多軸動作 パラレル・キネマティック多軸システムでは、すべてのアクチュエーターが共通のプラットフォーム上で動作します。最小限の質量イナーシャと、すべての軸の同一設計により、高速でダイナミック、かつ高精度な動作が可能になります。