リニアポジショニングステージ U-523 PILine®

圧電単軸コンパクト

- 省スペース・軽量 - 高いガイディング精度 - 10nmの高いセンサー分解能 - セルフロック、静止時無発熱 - 低ノイズ動作 PILine®ステージは、高速で高精度な位置決めが必要な用途に特に適しています。スイッチを切ると、セルフロックドライブがステージの位置を機械的に安定させたまま保持します。そのため、エネルギー消費と熱の発生が大幅に抑えられます。バッテリー駆動や熱に敏感な低デューティーサイクルのアプリケーションでは、この特性の恩恵を受けています。軸の位置はエンコーダで計測され、光学式リファレンススイッチにより信頼性の高い再現性のある動作が可能です。ピエゾモーターの駆動原理と電気的動作は安価であり、カスタマイズも可能です。 インクリメンタルエンコーダによる高精度位置測定 非接触の光学式エンコーダは、プラットフォームで直接、最も高い精度で位置を測定します。非線形性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。