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トランスレーションポジショニングステージ M-122.2DD1電動式単軸精密
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特徴
- 方向
- トランスレーション
- タイプ
- 電動式
- 軸の数
- 単軸
- その他の特徴
- 精密, コンパクト, 小型, 高速, 内蔵型エンコーダー付き, ボールねじ
- ストローク
25 mm
(0.984 in)- 速度
0.02 m/s
(0.07 ft/s)- 繰返し精度
0.15 µm, 0.2 µm, 1 µm
詳細
- 0.1 µm の分解能で最高の精度を実現する内蔵リニアエンコーダ
- 最小インクリメンタル動作 0.2 µm
- 再循環ボールネジによる高速性と長寿命インクリメンタルリニアエンコーダによる高精度位置測定
非接触光学式リニアエンコーダは、プラットフォームで直接、最高精度で位置を測定します。非直線性、機械的な遊び、弾性変形は測定に影響を与えません。
応用分野
光学式アライメント精密自動化
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