リニアポジショニングステージ V-508 series

リニアモータ駆動クロスローラー精密

- 最小のインクリメンタルリニアモーションは1 nmまで - 鉄芯と鉄なしの3相リニアモーターを選択可能 高精度リニアモータステージのV-508ファミリーは、非常にコンパクトで薄型のパッケージで高速・高精度を実現します。これらのクローズドループ電動ナノポジショニングステージは、高性能ベアリング、ゼロフリクションリニアモーター、非接触光学式位置センサー、および剛性と熱安定性のためにFEA（有限要素解析）最適化されたボディなど、信頼性を考慮して設計されたコンセプトに基づいて、高ダイナミクス24/7産業オートメーション用途によく適しています。 フリクションレス・ダイレクトドライブ・リニアモーター - 超高分解能 自社開発の摩擦のないブラシレス3相リニアモーターを駆動し、直接測定リニアエンコーダで制御するV-508シリーズのリニアDeepLトランスレーションは、最高性能のバリエーションとして最小1ナノメートル単位の高解像度直線運動を提供することが可能です。 サブナノメートルの感度を持つ直接計測式エンコーダ コスト効率の高いインクリメンタルエンコーダ、PIOne 計測クラス干渉計エンコーダ、および絶対測定エンコーダ（電源投入時の参照は不要）を選択できます。ステージの直線位置は、固定ベースに対して移動プラットフォームで直接測定されるため、接触がなく（直接計測）、バックラッシュ、機械的な遊び、モーターとリードスクリューの組み合わせでよく見られる駆動系の変形は、位置精度に影響を与えません。