- アクチュエータ分解能:8 nm
- 最小インクリメンタル動作:X、Y、Zで0.25 µm
- BLDCモーターとアブソリュートエンコーダ
6自由度のパラレル・キネマティック設計により、シリアル・キネマティック・システムよりも大幅にコンパクトで高剛性、高いダイナミックレンジ、移動ケーブルがない。高い信頼性、摩擦の低減
アブソリュートエンコーダ
アブソリュートエンコーダは、位置を即座に決定することができる明確な位置情報を提供します。つまり、スイッチオン時に参照する必要がないため、運転中の効率と安全性が向上します。
ブラシレスDCモーター(BLDC)
ブラシレスDCモーターは、特に高速回転に適しています。高精度な制御が可能で、高い精度が得られる。また、摺動接点がないため、滑らかな回転が得られ、摩耗が少なく長寿命です。
応用分野
研究・産業マイクロアセンブリ、バイオテクノロジー、半導体製造、光学アライメントに。
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