リニア圧電アクチュエータ P-405 Picoactuator® series

多軸剪断モード

- 鉛フリーの結晶性アクチュエータ材料 - 高ダイナミクス - 位置制御なしでの動作に最適 - 低電力消費 - 最小限の長さ公差 最大±500Vのバイポーラ動作電圧、ヒステリシスのない動作（0.2%未満）。クリープがないPicoactuator® は、縦方向およびせん断方向のアクチュエータとして、高さ 20 mm、最大移動量 ±1.5 µm まで設定可能です。 - 10-9 hPaまでのUHVに対応 - 内孔 - チップ Picoactuator® の縦型およびせん断型アクチュエータは、結晶性圧電材料で構成されています。せん断アクチュエータの比変位はアクチュエータ長の±0.02 %、縦型ピエゾアクチュエータの±0.01 %です。この値は、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）製の圧電アクチュエータと比較すると、10分の1の低さである。また、動作は非常にリニアで、ほとんどヒステリシスがありません。