回転ポジショニングステージ A-63x PIglide RL series

電動式多軸精密

- モーションプラットフォーム直径200mmまたは300mm - ロープロファイル、60 mm - 偏心および平面度 < 100 nm - 磁気予圧による静止状態でのセルフロック機能（オプション PIglide RLシリーズの直接駆動低背回転ステージは、低背設計で最高の精度を実現します。さまざまなオプションを組み合わせて、ポイントツーポイントインデックスや等速スキャンに最適なソリューションを構築できます。RLステージは優れた移動精度、平面度、ふらつき性能を備えています。 3相トルクモーター - ブラシレス - スロットレス - 低コギングトルク アブソリュートエンコーダ(オプション) アブソリュートエンコーダは、明確な位置情報を提供し、位置を即座に決定することができます。そのため、電源投入時のリファレンスが不要となり、作業効率と安全性が向上します。 アクセサリーとオプション - インクリメンタルエンコーダまたはアブソリュートエンコーダ - 真空フィードスルー - 磁気予圧によるセルフロック機能付き - PIglide フィルタとエアプレパレーションキット - 1軸または多軸のモーションコントローラおよびサーボドライブ - 多軸/カスタマイズ設計 - 花崗岩製のベースプレートと振動低減システム 応用分野 光学アライメント、ウェハー検査、ウェハーアライメント、計測技術、検査システム、キャリブレーション、スキャニング。