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リニアポジショニングステージ M-11 series電動式精密コンパクト
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特徴
- 方向
- リニア
- タイプ
- 電動式
- その他の特徴
- 精密, コンパクト, 閉ループ
- ストローク
5 mm, 15 mm, 25 mm
(0.197 in, 0.591 in, 0.984 in)- 速度
1 mm/s, 1.5 mm/s, 2 mm/s
- 繰返し精度
0.15 µm, 0.25 µm, 2 µm
詳細
- 非接触式リファレンススイッチとリミットスイッチ
- XYセットアップを直接取り付け可能
- 大量生産にも迅速に対応
- 真空に適したバリエーションがあります
ベルトドライブによる折りたたみ駆動でコンパクトなリニアステージ。10 mm 径のクリアアパーチャを採用、アダプタプレートなしでXYセットアップを直接取り付け可能
駆動方式
2相ステッピングモーターまたはクローズドループDCギアモーター
バックラッシュ補正されたネジ付きスピンドルまたはボールネジ
位置測定
DCギアモーターを使用したバリエーションモータシャフト上のロータリーエンコーダ
非接触式ホール効果リファレンスとリミットスイッチ
応用分野
精密マイクロアセンブリ。研究レーザー転写自動化光学アライメント
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