回転ポジショニングステージ A-68x

電動式多軸精密

- 直径365mmモーションプラットフォーム、直径260mmアパーチャー - 偏芯・平坦度 < 300 nm PIglide RLAシリーズの直接駆動フラット回転ステージは、最高精度を目指して設計されています。低背で大きな開口部を備えています。RLAステージは、優れた移動精度、平坦度、ふらつき性能を提供します。 アブソリュートエンコーダ(オプション) アブソリュートエンコーダは、位置を即座に決定することができる明確な位置情報を提供します。スイッチオン時のリファレンスが不要となり、作業効率と安全性が向上します。 応用分野 トモグラフィ、ビームラインシステム、ウェハ計測、ウェハ検査、計測技術、検査システム、校正、スキャニング。 摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリーンルーム用途に最適です。 3相トルクモーター - ブラシレス - 低コギングトルク 付属品・オプション - インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ - PIglideフィルターおよびエアプレパレーションキット - 1軸または多軸モーションコントローラ、サーボドライブ - 多軸/カスタマイズセットアップ - 花崗岩製ベースプレートと振動低減システム